Departamento de Electrónica Industrial 



Microtecnologias no Silício

Enquadramento e objectivos da disciplina

A UC de Microtecnologias no Silício/Introdução às Microtecnologias no Silício é uma UC  do 4º ano do MEB e 3º ano da LEFisica.
Tem uma escolaridade de 4 horas semanais (2 teóricas e  2 teórico-práticas).



Docentes:

  

  

Download:

 

Folha de apresentação da disciplina (FADA)

Aulas Cap1

Aulas Cap2

Aulas Cap3

Aulas Cap7

Texto apoio

Ficha de exercícios

Texto Silicon_Wafer_Processing

Texto wet-etching

Texto Tecnologia LIGA

Livro Microelectronics-Fabrication 25 Mbytes

Lmanual

ALD_Basics