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Introdução aos
Microssistemas e às Microtecnologias
Docentes:
Luís
Gonçalves (LG) ,
Higino Correia (JHC),
lgoncalves(a)dei.uminho.pt, jhc(a)dei.uminho.pt, jcarmo(a)dei.uminho.pt
Grelha Da Avaliação Da
Aprendizagem
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Aula |
Semana |
Docente |
Materiais |
Sumário |
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0 |
05//10 a 10/10 |
LG |
Apresentação da disciplina. O
microssistema. As nanotecnologias na microelectrónica. |
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1 |
12/10 a 17/10 |
JHC |
Física dos semicondutores. |
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2 |
19/10 a 24/10 |
LG |
Texto
de Apoio 4 Micromaquinagem (o mesmo da
aula 5) Slides_LG CVD_PVD_Thin_Films.pdf Introduction_to_Microfabrication-_Springer_Handbook_of_Nanotechnology.html |
Técnicas de deposição de filmes finos: a evaporação,
o sputtering, e o Chemical Vapor Deposition. |
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3 |
26/10 a 31/10 |
JHC |
O silício e materiais nas microtecnologias |
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4 |
02/11 a 07/11 |
LG |
Visita aos laboratórios |
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5 |
09/11 a 14/11 |
JP |
Texto
de Apoio 4 Micromaquinagem.pdf (o mesmo da
aula 2) |
Processos de fabrico: micromaquinagem volúmica e
superficial, o processo LIGA, o Reactive Ion Etching. |
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6 |
16/11 a 21/11 |
JP* |
A tecnologia CMOS. |
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7 |
23/11 a 28/11 |
JHC* |
Aplicações |
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8 |
30/11 a 05/12 |
JP |
Texto de Apoio-5-Aplicacoes (o mesmo da
aula 7) |
Exercícios. Aplicações Microssistemas termoeléctricos e em Rádio
Frequência |
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9 |
07/12 a 12/12 |
LG |
Técnicas de caracterização |
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10 |
14/12 a 19/12 |
LG |
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Teste de Avaliação |
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11 |
04/01 a 09/01 |
LG |
Projecto |
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12 |
11/01 a 16/01 |
LG |
Litografia
NEW |
Projecto |
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13 |
18/01 a 23/01 |
LG |
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Projecto |
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14 |
25/01 a 30/01 |
LG |
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Projecto |
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NEW Exame
de recurso no dia …….. P.F indiquem
por email a vossa intenção de fazer exame de recurso. Poderá fazer exame para
melhoria de nota do teste. Entrega
de trabalho até ao dia 3 de Março 24h00 |
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* Troca JHC-JP